आईसी क्लीन रूम डिजाइन और निर्माण आवश्यकताएं

एकीकृत सर्किट क्लीन रूम एक साफ कमरा है जो अर्धचालक विनिर्माण प्रक्रिया की जरूरतों को पूरा करता है। स्वच्छ कमरे में पर्यावरणीय स्वच्छता, तापमान और आर्द्रता, कंपन, ईएसडी और एएमसी नियंत्रण के लिए कुछ आवश्यकताएं हैं। अन्य औद्योगिक क्लीनरूम की तुलना में, एकीकृत सर्किट विनिर्माण धूल-मुक्त कार्यशालाओं में बड़े क्षेत्र, उच्च स्वच्छता स्तर और उच्च तापमान और आर्द्रता नियंत्रण सटीकता जैसी विशेषताएं हैं।

क्लीन रूम वर्कशॉप एयर सर्कुलेशन की विशेषताओं के अनुसार, क्लीन रूम को तीन प्रकारों में विभाजित किया जा सकता है: एक कुशल वायु आपूर्ति प्रणाली के साथ एक परिसंचारी एयर कंडीशनर, एक गीले सीलिंग सिस्टम के साथ एक परिसंचारी प्रशंसक, और एक एफएफयू परिसंचरण प्रणाली।

पहले रूप का व्यापक रूप से छोटे पैमाने पर और निम्न-स्तरीय स्वच्छ कमरे की कार्यशालाओं के डिजाइन में उपयोग किया जाता है। बड़े पैमाने पर और उच्च श्रेणी के स्वच्छ कार्यशालाओं के लिए, उच्च परिचालन लागत और अत्यधिक अंतरिक्ष व्यवसाय जैसे नुकसान हैं।

डिज़ाइन का दूसरा रूप एकीकृत सर्किट निर्माण के लिए बड़े-क्षेत्र के क्लीनरूम की उच्च-स्तरीय आवश्यकताओं को पूरा कर सकता है, लेकिन परिचालन लागत अधिक है, और स्वच्छ कमरे की हवा की गति, हवा की मात्रा समायोजन मुश्किल है, सिस्टम अपग्रेड मुश्किल है, इसलिए ऑपरेटिंग लचीलापन बहुत कम है।

एफएफयू चक्र प्रणाली का तीसरा प्रकार न केवल परिचालन स्थान को बचाता है, उच्च स्तर की स्वच्छता, सुरक्षा, कम परिचालन लागत और उच्च परिचालन लचीलापन है। उत्पादन को प्रभावित किए बिना किसी भी समय इसे अपग्रेड और समायोजित किया जा सकता है। अर्धचालक विनिर्माण की जरूरतों को पूरा करने के लिए, अर्धचालक विनिर्माण उद्योग में एफएफयू परिसंचरण प्रणाली धीरे -धीरे सबसे महत्वपूर्ण शुद्धि डिजाइन बन गई है।

एफएफयू परिसंचरण प्रणाली की विशेषताएं हैं: संपूर्ण साफ कमरा एक स्थिर दबाव परत, एक प्रक्रिया परत, एक प्रक्रिया सहायक परत और एक वापसी हवा मार्ग से बना है। एफएफयू हवा में परिसंचारी की शक्ति प्रदान करता है, और ताजी हवा और परिसंचारी हवा को मिश्रित किया जाता है और अल्ट्रा-कुशल फिल्टर के माध्यम से प्रक्रिया में भेजा जाता है। परतें और प्रक्रिया सहायक परतें प्रक्रिया परत के संबंध में नकारात्मक दबाव हैं। इसके अलावा, आईसी विनिर्माण सुविधाओं के लिए एक सहायक उत्पादन क्षेत्र है, जिसमें बिजली की आपूर्ति, गैस और रासायनिक आपूर्ति और अल्ट्राप्योर पानी की आपूर्ति शामिल है।

एकीकृत सर्किट विनिर्माण में स्वच्छ कमरे के वातावरण के नियंत्रण के लिए सख्त आवश्यकताएं हैं। विभिन्न प्रक्रिया प्रक्रियाओं में स्वच्छता के लिए अलग -अलग आवश्यकताएं हैं। उदाहरण के लिए, फोटोलिथोग्राफी को कक्षा 1 में एक सूक्ष्म वातावरण की आवश्यकता होती है, जबकि रासायनिक यांत्रिक पीसने के लिए केवल कक्षा 1000 के वातावरण की आवश्यकता होती है।

इसके अलावा, आईसी विनिर्माण स्वच्छ पौधों में शोर, कंपन और रोशनी के लिए प्रासंगिक नियम और आवश्यकताएं हैं, विशेष रूप से कंपन नियंत्रण, जो कि स्वच्छ कमरे के निर्माण संरचना के डिजाइन में आवश्यक होना चाहिए।

एक अच्छा क्लीनरूम डिज़ाइन न केवल ऊर्जा बचाता है, परिचालन लागत को कम करता है, और जनशक्ति निवेश को कम करता है, बल्कि उत्पादन के लिए सुरक्षित और विश्वसनीय गारंटी भी प्रदान करता है। तीन प्रकार की स्वच्छ प्रणालियों में, एफएफयू चक्र प्रणाली में सबसे कम परिचालन लागत और स्वच्छता और सुरक्षा की उच्चतम डिग्री है। इसलिए, एफएफयू चक्र प्रणाली का उपयोग अक्सर एकीकृत सर्किट क्लीनरूम में किया जाता है। स्वच्छता की आवश्यकताएं जितनी अधिक होती हैं, तापमान और आर्द्रता नियंत्रण की सटीकता जितनी अधिक होती है, क्लीनरूम के निवेश और परिचालन लागत अधिक होती है। इसलिए, अपेक्षाकृत कम स्वच्छता या तापमान और आर्द्रता आवश्यकताओं के साथ पर्यावरण में, कुछ प्रमुख प्रक्रिया उपकरणों को उच्च स्तर पर व्यवस्थित किया जाता है। स्वच्छता या तापमान और आर्द्रता नियंत्रण क्षेत्र आईसी विनिर्माण क्लीनरूम के लिए एक डिजाइन प्रवृत्ति है।

एकीकृत सर्किट विनिर्माण एक उच्च-ऊर्जा-उपभोग करने वाला उद्योग है, और स्वच्छ एयर-कंडीशनिंग सिस्टम की ऊर्जा खपत उनमें से 30% से अधिक है। इसलिए, ऊर्जा-बचत और सुरक्षित स्वच्छ कमरे के डिजाइन और विभिन्न गर्मी वसूली डिजाइन विकास की भविष्य की दिशा होगी।

एकीकृत सर्किट विनिर्माण प्रौद्योगिकी के निरंतर उन्नयन के साथ, प्रमुख निर्माताओं ने नैनो युग में प्रवेश किया है, और एकीकृत सर्किट विनिर्माण स्वच्छ संयंत्रों और ऊर्जा-बचत नवाचारों के डिजाइन और निर्माण को भी लगातार अपग्रेड करने की आवश्यकता है। ।

Zhejiang Sujing Purification Equiption Co., Ltd. Daoshui टाउन, शांगयू डिस्ट्रिक्ट, शॉक्सिंग सिटी, झेजियांग प्रांत में स्थित है और पूर्वी चीन में शुद्धि उपकरण उद्योग में एक उत्कृष्ट निर्माता है। माइक्रोइलेक्ट्रॉनिक, बायोमेडिसिन, अस्पताल के संचालन कक्ष, फाइबर ऑप्टिक केबल, भोजन और पेय पदार्थ, सटीक उपकरण, अर्धचालक, और ISO14644-1 मानक, GB50073-2001 राष्ट्रीय मानक के अनुसार नए सामग्री अनुप्रयोगों जैसे उद्योगों के लिए पेशेवर वायु शोधन प्रणाली प्रदान कर सकते हैं। और राष्ट्रीय जीएमपी विनिर्देश। इंजीनियरिंग डिजाइन, निर्माण, परीक्षण और तकनीकी सेवाएं।
कंपनी की मुख्य शोधन तालिका श्रृंखला, एयर शावर श्रृंखला, फ्यूम हूड श्रृंखला, जैविक सुरक्षा कैबिनेट श्रृंखला का उपयोग व्यापक रूप से चिकित्सा और स्वास्थ्य, इलेक्ट्रॉनिक्स, फार्मास्यूटिकल्स, जीव विज्ञान, खाद्य, कृषि, वानिकी, पशुपालन और पशु चिकित्सा, निरीक्षण और संगरोध, एयरोस्पेस में किया जाता है। मोटर वाहन निर्माण, सटीक उपकरण, विश्वविद्यालय और अनुसंधान संस्थान घरेलू और दक्षिण पूर्व एशियाई बाजारों में एक उच्च प्रतिष्ठा का आनंद लेते हैं।