स्वच्छ कमरे का संचालन और रखरखाव

क्लीन रूम की स्वच्छता का रखरखाव और नियंत्रण, हार्ड उपकरणों में निवेश के अलावा, अच्छी स्वच्छता बनाए रखने के लिए, अच्छे सॉफ्टवेयर - प्रबंधन प्रणाली को मैच करने के लिए भी आवश्यक है; क्लीन रूम ऑपरेशन प्रबंधन, ऑपरेटर के अनुसार, स्वच्छ कमरे में उपयोग की जाने वाली मूल सामग्री, उपकरण और चीजों पर चर्चा की जाती है; क्लीन रूम सिस्टम को न केवल एयर कंडीशनिंग सिस्टम के रूप में जाना जाता है, बल्कि प्रक्रिया उपकरण भी शामिल हैं। यह खंड दो प्रणालियों के संचालन और रखरखाव का संक्षिप्त विवरण देगा।

सबसे पहले, प्रदूषण स्रोत नियंत्रण

क्लीन रूम की स्वच्छता का रखरखाव और नियंत्रण, हार्ड उपकरणों में निवेश के अलावा, अच्छी सफाई बनाए रखने के लिए, मैच के लिए एक अच्छा सॉफ्टवेयर-प्रबंधन प्रणाली की भी आवश्यकता होती है। क्लीन रूम में सूक्ष्म-प्रदूषण का स्रोत, परीक्षण और विश्लेषण परिणामों के बाद, ऑपरेटर ने लगभग 80%का हिसाब लगाया।

स्वच्छ कमरे के प्रदूषण स्रोत को बाहरी प्रदूषण और आंतरिक प्रदूषण स्रोतों में विभाजित किया जा सकता है। बाहरी प्रदूषण स्रोतों में मुख्य रूप से एयर कंडीशनिंग एयर सप्लाई, गैप इन्फ्ल्ट्रेशन, इमारतें, चौग़ा, डक्ट सामग्री और सामान्य गैसें जैसे एन 2, ओ 2, वायु, जल आपूर्ति, विलायक, आदि शामिल हैं; जबकि आंतरिक प्रदूषण स्रोतों में प्रक्रिया उपकरण, श्रमिक, उपकरण, प्रसंस्करण प्रक्रियाएं, डिब्बे सामग्री, कार्य तालिका, पैकेजिंग सामग्री, आदि शामिल हैं।

सिलिकॉन चिप के लिए, धूल के कणों का आसंजन एकीकृत सर्किट के विरूपण या शॉर्ट सर्किट का कारण होगा, और चिप अपने परिचालन कार्य को खो देगा। इसलिए, सूक्ष्म-प्रदूषण स्रोत का नियंत्रण स्वच्छ कमरे प्रबंधन का एक महत्वपूर्ण हिस्सा बन गया है। तालिका 1 प्राकृतिक वातावरण द्वारा मापी गई धूल एकाग्रता को दर्शाता है, जिसका उपयोग एक डिजाइन संदर्भ के रूप में किया जा सकता है। सूक्ष्म-प्रदूषण नियंत्रण में, चार बुनियादी सिद्धांत हैं:

1. बाहरी धूल घुसपैठ की रोकथाम: स्वच्छ कमरे का संचालन और रखरखाव प्रबंधन

क्लीन रूम में उचित सकारात्मक दबाव रखरखाव (> 0.5MMAQ), निर्माण कार्य को लीक न करें, डस्टप्रूफ कार्रवाई करें जैसे कि कार्मिक उपकरण और कच्चे माल को साफ करने से पहले सफाई और पोंछना स्वच्छ कमरे में ले जाया जाता है, और ठीक से प्रबंधन और सेट करें एयर फिल्टर। ।

2. इनडोर धूल की रोकथाम: स्वच्छ कमरे का संचालन और रखरखाव प्रबंधन

स्वच्छ कमरे की सामग्री का उचित चयन जैसे कि विभाजन बोर्ड, फर्श, प्रक्रिया उपकरणों का धूल दमन, उत्पादन स्वचालन और कर्मियों की गैर-असेंबली, आंदोलन की छूट, स्वच्छ कपड़े का प्रबंधन, स्वच्छ कमरे के विशेष उपकरणों का उपयोग, आदि।

3. इनडोर धूल जमा नहीं होती है:

दीवार को चिकनी और मृत कोणों से मुक्त होना चाहिए, साफ कमरे को नियमित रूप से बनाए रखा जाना चाहिए और साफ किया जाना चाहिए, और प्रक्रिया उपकरण के आसपास स्थान को छोड़ दिया जाना चाहिए।

4. धूल का बहिष्करण:

वायु परिवर्तनों की संख्या पर्याप्त होनी चाहिए, और उचित अंतरिक्ष व्यवस्था और निकास गैस और एयर कंडीशनिंग के स्रोत की एयरफ्लो गति उचित होनी चाहिए।

लोगों की प्रबंधन समस्याएं और कमरे में प्रवेश करने वाली चीजें, वास्तविक कामकाजी परिस्थितियों और इंजीनियरिंग प्रबंधन की समस्याएं, इनडोर एयर कंडीशनिंग और सफाई संबंध की समस्या, इन मुद्दों पर अगले भाग में चर्चा की जाएगी। स्वच्छ कमरे संचालन और रखरखाव प्रबंधन