क्लीन रूम स्टैंडर्ड क्लीन रूम डस्ट-फ्री वर्कशॉप ग्रेड डिवीजन

स्वच्छ कमरा (साफ कमरा) स्वच्छता की डिग्री के आधार पर कई स्तरों में विभाजित है।

वर्तमान में, विभिन्न सेमीकंडक्टर प्रसंस्करण और पैनल असेंबली कारखानों के स्वच्छ कमरे ग्रेड ज्यादातर 1000 और 100 हैं। संख्या जितनी छोटी, स्वच्छता स्तर जितना अधिक होगा।

क्लीन रूम (क्लीन रूम) 1000 क्लास की अवधारणा है: प्रति क्यूबिक फुट या उससे अधिक 1000 से अधिक धूल कण नहीं;

क्लीन रूम (क्लीन रूम) की कक्षा 100 की अवधारणा है: प्रति क्यूबिक फुट या उससे अधिक 100 से अधिक धूल कण नहीं;

नोट: प्रत्येक स्तर द्वारा नियंत्रित कण आकार भी अलग है;

अमेरिकी संघीय सरकार [संघीय atandard (FS) 209e, 1992] द्वारा जारी किए गए मानक के अनुसार, क्लीन रूम (क्लीन रूम) को छह स्तरों में विभाजित किया जा सकता है। वे स्तर 1, 10, 100, 1000, 10000 और 100000 हैं;

यदि क्लीन रूम (क्लीन रूम) का स्तर केवल धूल कणों की संख्या द्वारा वर्णित है, तो यह माना जा सकता है कि धूल के कणों का आकार 0.5 उम नहीं है, और साफ कमरे का स्तर विशिष्ट की श्रृंखला में व्यक्त किया जाना चाहिए धूल कण आकार। उदाहरण के लिए: स्तर 10 0.2um है (धूल का आकार 0.2um या अधिक है, घनत्व 75/घन फीट से अधिक नहीं है), स्तर 1 0.1um है (धूल का आकार 0.1um या अधिक है, घनत्व 35 से अधिक नहीं है) प्रति क्यूबिक फुट)। एकीकृत सर्किट विनिर्माण के लिए आवश्यक स्वच्छ कमरे में 1000 से बेहतर स्वच्छता स्तर होना चाहिए।

सबसे पहले, संघीय विनिर्देशों ने कमरे का स्तर साफ किया

आज, संयुक्त राज्य अमेरिका द्वारा निर्धारित संघीय विनिर्देशों का आम तौर पर पीछा किया जाता है, और बीसीआर जैविक कण सीमा के लिए नासा विनिर्देश को संदर्भित करता है। Fed.std स्वच्छता व्यक्त की जाती है कि 0.5 माइक्रोन या उससे अधिक के कितने माइक्रोप्रार्टिकल्स हवा के 1 फीट 3 में निहित हैं, और इसे [ग्रेड।]] कहा जाता है। उदाहरण के लिए, जब हवा में 10 या उससे कम होते हैं, तो इसे "स्तर 10" के रूप में व्यक्त किया जाता है। दूसरा, प्राकृतिक वातावरण में आमतौर पर 300,000 से 30,000,000 कण होते हैं। JIS मानक के तहत, स्वच्छ कमरे की सफाई को 8 स्तरों में विभाजित किया गया है। सामान्य स्वच्छता हवा के स्वच्छता स्तर को संदर्भित करती है, जिसे 1, 2, 8, और 8 के स्तर में विभाजित किया जाता है। ; 100 या उससे कम 100 = 102 ग्रेड 2 है; हजार या उससे कम है 1000 = 103 ग्रेड 3, और इसी तरह।

दूसरा, क्लीन रूम - क्लीन रूम (क्लीन रूम) स्टैंडर्ड ग्रेड

यूएस फेडरल स्टैंडर्ड 209 ई (1992) पीसी/एफटी 3

स्वच्छता स्तर: कण आकार (उम)